用模拟退火法优化设计投影光刻成像光瞳滤波器

摘要：

为进一步提高投影成像系统的光刻分辨率和焦深,研究利用模拟退火算法设计和优化光瞳滤波器.文中给出光瞳滤波器算法数理模型,利用模拟退火法制定设计原则,给出算法实现过程,用VC++和Matlab混合编程,并进行计算分析,求解和制作最佳滤波器.分析计算和模拟结果表明,用模拟退火法设计优化投影成像光刻光瞳滤波最优滤波器方法可行.

关键词： 模拟退火算法 投影成像光刻 光瞳滤波 优化滤波器

作者: 康西巧 陈旭南 石建平 罗先刚

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 189-192

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）