激光干涉光刻技术研究

摘要：

本文介绍激光干涉光刻的基本原理,主要技术及其应用,并对实验系统和初步实验结果进行了分析讨论.

关键词： 微光刻技术 干涉光刻 场发射显示器 微电子光刻设备 激光干涉

作者: 冯伯儒 张锦 四川大学物理系(成都) 宗德蓉 蒋世磊 苏平 四川大学物理系(成都) 陈宝钦 陈芬

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室(成都) 中国科学院微电子中心(北京) 四川师范学院物理系(南充)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 185-188

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）