非等焦距微透镜阵列对二维激光扫描优化设计研究

摘要：

本文研究了两百等焦距微透镜阵列对实现二维激光扫描中的设计优化问题,其中主要研究了两正负镜焦距比α和两透镜间距因子δ与扫描角、能量利用率、微透镜的横向驱动行程等实用化过程中的关键问题.作为例子,设计了一焦距比为3、透镜间距比为2、扫描角15°分辨率为100的双微透镜扫描阵列.

关键词： 微透镜阵列 激光扫描 扫描角 微细加工

作者: 周崇喜 谢伟民 董小春 潘丽 王菁 邓启凌 杜春雷

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 178-181

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）