北京同步辐射装置(BSRF)的LIGA技术研究

摘要：

LIGA技术是微加工技术的一个重要手段,有着其它技术所不能够相比的优越性能.BSRE自1993年起开展了这项技术的研究工作,经历了近十年的研究,在许多方面都取得了突破性的进展,在很多领域已经表现出良好的应用前景.本文全面和系统地介绍了BSRF的LIGA技术最新研究成果,并欢迎广大同仁利用这一技术,制造出先进的微器件.

关键词： LIGA 光刻技术 同步辐射 深度光刻 掩模

作者: 伊福廷 彭良强 张菊芳 韩勇

作者单位: 中国科学院高能物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 168-171

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）