扫描显像控制和图形信号处理系统

摘要：

介绍扫描显像的基本原理,亚微米电子束曝光机对扫描显像系统的基本要求,扫描显像系统的基本组成部分和实现的功能.对今后扫描显像系统的设计提出了建议.

关键词： 扫描显像 电子束曝光机 控制系统 信号发生器 图形信号处理

作者: 彭立波

作者单位: 信息产业部电子第四十八研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 62-64

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）