微波功率芯片的亚微米工艺

摘要：

报道一种掺砷多晶硅发射极超自对准亚微米工艺技术,特别适用于研制大面积的硅微波大功率晶体管.文中简述器件结构和工艺,同时给出器件研制的结果.

关键词： 硅微波大功率晶体管 微波功率芯片 亚微米工艺 工艺流程

作者: 王因生 张树丹 王佃利 傅义珠 盛国兴 桂德成 丁晓明 王志楠

作者单位: 南京电子器件研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 200-202

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）