具有自支撑三明治结构的射频滤波器设计

摘要：

现有体声波滤波器基本采用体硅加工技术.本文采用表面硅加工工艺和牺牲层技术制作体声波滤波器.利用多孔硅作为牺牲层,形成不需支撑膜的由上层金属电极,压电材料和下层金属电极构成的自支撑的三明治结构.避免了支撑膜对滤波器的影响.同时本文设计将每个谐振器作为一个自支撑单元,减少了工作在不同频率下谐振器的互相干扰.

关键词： 射频滤波器 工作原理 加工工艺

作者: 丛鹏 刘燕翔 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 129-132

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）