砷化镓体单晶中缺陷及其腐蚀、分析法

本文描述了砷化镓单晶中缺陷的种类及其对器件性能的影响,并简介其腐蚀、分析法.
砷化镓单晶 材料缺陷 缺陷腐蚀 微微陷 腐蚀方法
张春玲 王海云 张雯 徐岳山
河北工业大学半导体材料研究所(天津)
国内会议
昆明
中文
44-46
2001-04-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
砷化镓单晶 材料缺陷 缺陷腐蚀 微微陷 腐蚀方法
张春玲 王海云 张雯 徐岳山
河北工业大学半导体材料研究所(天津)
国内会议
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2001-04-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)