会议专题

砷化镓体单晶中缺陷及其腐蚀、分析法

本文描述了砷化镓单晶中缺陷的种类及其对器件性能的影响,并简介其腐蚀、分析法.

砷化镓单晶 材料缺陷 缺陷腐蚀 微微陷 腐蚀方法

张春玲 王海云 张雯 徐岳山

河北工业大学半导体材料研究所(天津)

国内会议

第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

昆明

中文

44-46

2001-04-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)