SiGe/Si异质结双极晶体管开发与研制

摘要：

本文介绍了SiGe/Si异质结双极晶体管的器件结构及主要工艺步骤.

关键词： 异质结双极晶体管 器件结构 制备工艺 SiGe/Si 半导体材料

作者: 李开成 刘道广 张静 易强

作者单位: 信息产业部电子二十四所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国分子束外延学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 72-73

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）