二氧化硅刻蚀实验模型参数优化提取

摘要：

本文研究了在PE8310全自动二氧化硅刻蚀的实验模型基础上,通过最小二乘法优化提取了模型参数,从而求得被刻蚀二氧化硅厚度与主要工艺参数的定量关系.借助于在较宽的工艺条件范围内建立的经验公式实现了对被刻蚀二氧化硅厚度的精确控制.

关键词： 二氧化硅 刻蚀 工艺参数 参数提取

作者: 殴阳毅 刘志弘 刘荣华 乔忠林 仲涛 付玉霞 刘爱华 林发永

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京清华园)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 440-444

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）