微光刻苦技术数据处理及数据转换体系

摘要：

本文重点介绍微光刻技术图形数据处理及数据转换体系.包括微光刻技术需要处理的图形数据类型,常用的图形数据处理及图形编辑软件,特殊图形数据处理技术,常用的图形数据格式及数据格式转换技术.

关键词： 微光刻 光掩模 数据处理 格式转换

作者: 陈宝钦 胡勇 刘明 任黎明 李友 张建宏 张卫红

作者单位: 中国科学院微电子中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 425-430

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）