实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具

摘要：

鉴于PC机广泛普及和使用方便,我们利用已有的工艺模拟软件SUPREM,器件模拟软件MINIMOS、电路模拟软件PSPICE,并完成了响应表面拟合、SPICE模型参数提取及数据转换等程序,在PC机上建立起实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具,研究实验设计方法在IC优化设计中的应用.

关键词： 实验设计 模拟软件 集成电路 优化设计 TCAD工具

作者: 甘学温 杜刚 肖志广

作者单位: 北京微电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 417-421

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）