微电机的微磨擦参数的提取和仿真
为了分析微电机的动力学特性,不仅需要知道其内部的电性引力,还需要确定其内部的微磨擦力的大小.本文提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型,通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微摩擦系数.与实际结果比较表明,该模型可以用于微电机仿真系统.
微电机 微磨擦 仿真系统 制造工艺 人工神经网络模型 参数提取
杨俊杰 甘骏人 姚林声
中国科学院上海冶金研究所,传感技术国家重点实验室(上海)
国内会议
昆明
中文
393-397
2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）