SiGe/Si材料特性表征技术

摘要：

本文对表征SiGe/Si异质结材料特性的测量技术X-ray双晶衍射、反射高能电子衍射、Hall测量、二次离子质谱测量等进行了较为全面的介绍,为更好地了解、掌握和评价SiGe/Si材料特性提供一定帮助.

关键词： SiGe材料 材料特性 表征技术

作者: 张静 李开成 易强 凡则锐

作者单位: 信息产业部电子二十四所,模拟集成电路国家重点实验室(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 375-378

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）