5kW 40kHz等离子发生电源的研制

摘要：

论述了5kW 40kHz等离子体发生电源的工作原理和研制方案,利用本研制设备,可极大改进我所聚四氟乙烯印制板过孔加工以及聚四氟乙烯、聚酰亚胺薄膜表面粘接工艺中材料表面活化技术.

关键词： 等离子体 开关电源

作者: 张其政 崔洁 奚慧

作者单位: 南京电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会现代设计与先进制造技术学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 231-232

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）