双极IC参数漂移模式的工艺控制技术

摘要：

本文针对某双极模拟IC生产线,进行了失效模式、失效机理与关键工艺及管芯成品率的相关关系研究.对于双极模拟IC,参数漂移是其最主是要失效模式,引起参数漂移的主要原因是器件的表界面问题.通过对工艺监测技术的研究,找出了双极模拟器件表面质量的表征参数,建立了表面质量工艺监测的新方法.并找到了相应的器件表面质量控制措施,实现了生产线管芯成品率的大幅度提高.

关键词： 失效模式 工艺监测 工艺控制 参数漂移 半导体集成电路

作者: 焦慧芳 张晓明 师谦 刘玉奎 曾莉

作者单位: 信息产业部电子第五研究所 信息产业部电子第二十四研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 延安

会议语种:中文

页码: 91-93

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）