电荷泵技术评价热载流子注入效应
采用电荷泵技术研究MOS器件与热载流子注入有关的退化开始于20世纪80年代,该技术是利用衬底电流表征沟道漏端由碰撞电离引起的载流子注入.本文利用HP4155A能提供方波脉冲的特点,建立了电荷泵测试技术,利用该项技术对华晶1.0μm工艺线的抗热载流子注入效应的能力进行了评价,取得了预期的结果,在最大衬底电流附近,出现了电荷电流的最大峰值,表明该种应力条件下,器件的退化最为严重.
电荷泵 MOS器件 热载流子 注入效应
章晓文 张晓明
信息产业部电子第五研究所
国内会议
延安
中文
55-60
2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）