电子材料分析中的能谱干扰峰

摘要：

本文主要阐述了在电子元器件分析中用能谱仪做定性分析时常见的一些干扰峰和容易混淆及误差的一些谱峰.主要有和峰、逃逸峰以及一些在元器件材料分析中常遇到的元素特征峰之间的交错重叠的识别和判定方法,并把这些容易误判的谱线整理列成三种表格,以供参考,这些数据基本覆盖了在X射线能谱仪中可能出现的所有相关的谱峰.

关键词： 能谱仪 定性分析 特征X射线 电子元器件 谱峰

作者: 施明哲 董本霞

作者单位: 信息产业部电子第五研究所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 延安

会议语种:中文

页码: 40-44

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）