流体力学模型在半导体器件模拟中的应用

摘要：

本文主要介绍了半导体器件模拟中常用的流体力学模型和漂移扩散模型,以及它们的数值方法,并结合我们自己开发的软件给出了器件模拟的实例.

关键词： 半导体器件 器件模拟 流本力学模型 漂移扩散模型

作者: 刘恩峰 刘晓彦 林长海 韩汝琦

作者单位: 北京大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 460-464

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）