含氮硅单晶机械强度的研究

摘要：

本文用三点弯方法研究了在室温下普通和微氮硅单晶的机械强度.通过实验,我们发现由于氮的加入,硅单晶材料在室温下的机械强度有明显地改善;并对室温下氮杂质增强机械强度的可能机理进行了探讨.研究还发现,硅单晶材料表面状态及晶向对室温下机械强度也存在影响.

关键词： 单晶硅 抗弯强度 材料性能 机械强度

作者: 王淦 杨德仁 李东升 杨辉 李立本 阙端麟

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 30-33

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）