内部气氛分析在DPA工作中的重要作用

摘要：

本文介绍内部水汽含量分析在DPA工作中的重要作用,以及目前国内水汽含量的现状和存在的普遍问题,与封装工艺的相关性,进行工艺改进的措施.

关键词： 水汽含量 工艺改进 电子元器件 破坏性物理分析

作者: 吴文章 信息产业部电子第五研究所

作者单位: 总装备部电子信息基础部军用电子元器件DPA实验室(五所)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 延安

会议语种:中文

页码: 32-34

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）