用于外延生长氧化物薄膜诊断的X-射线衍射法

摘要：

X-射线衍射法是诊断薄膜外延生长及外延取向的有力工具.本文将介绍两种φ扫描方法和极图法,讨论它们能给出的各种信息,比较它们的优缺点.

关键词： X-射线衍射法 薄膜外延生长 高温超导体 极图法 扫描方法

作者: 王永忠 王守证

作者单位: 北京大学物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国超导电子器件学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 167-170

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）