硅压力传感器可靠性综合寿命试验和评价

摘要：

本文介绍了硅压力传感器可靠性综合寿命试验的思路、试验条件和试验结果.

关键词： 硅压力传感器 可靠性 寿命试验

作者: 王蕴辉 王善慈

作者单位: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 中国东北传感器研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 延安

会议语种:中文

页码: 186-189

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）