激光切割石英薄板加工技术

摘要：

本文叙述了石英薄板的激光切割原理;重点讨论了石英薄板激光切割的重要影响因素并给出了相应的解释;最后简要给出了石英薄板激光切割的工艺技巧及实验结果.

关键词： 石英 激光切割 温度场 应力场 激光功率 工艺技巧

作者: 袁明权

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 379-383

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）