YBCO薄膜的离子束改性和其退火恢复的实验研究
利用低能Ar离子刻蚀机和rf溅射枪,在Ar+O<,2>混合气氛和纯Ar气氛下分别对具有不同临界温度的YBCO薄膜进行了短时轰击处理.使用AFM对轰击前后薄膜的表面进行观察,并对轰击前后薄膜的超导电性进行了测量比较.结果表明:如果轰击时间很短,无论是Ar+O<,2>混合气氛还是纯Ar气氛下,两种处理方法基本都没有对薄膜表面产生可以观察得到的改变.但依赖于原始薄膜的质量,Ar+O<,2>混合气氛和纯Ar气氛下的轰击处理会导致薄膜超导电性截然不同的变化.同时还研究了退火工艺对YBCO薄膜轰击改性的恢复特性.本文报告的实验结果为我们下一步高温超导界面结工作的开展提供了基本工艺数据.
超导薄膜 离子束改性 退火工艺
刘乐园 聂瑞娟 马平 王福仁 王守证 戴远东
人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京大学物理系(北京)
国内会议
贵阳
中文
16-19
2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）