纳米孔氧化埋层SOI材料制备探索

摘要：

本研究利用纳米空腔时对氧吸附的特性,探索新的SOI制备技术,氦-氧共注入纳米孔氧化埋层SOI.

关键词： SOI材料 制备技术 氦-氧共注入

作者: 张苗 刘卫丽 安正华 林成鲁

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 301-304

在线出版日期: 2001-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）