基于分子束外延技术的光通信用光电子器件

摘要：

外延生长是半导体材料和器件制造的最关键的工艺技术,半导体材料和器件的生长技术主要分为两类:金属有机化合物化学气相外延和分子束外延(MBE).本文主要介绍一些基于MBE技术较新的光纤通信领域的光电子材料和器件.

关键词： 分子束外延技术 泵浦激光器 光调制器 光电子材料 光电子器件

作者: 罗毅 任在元 郝智彪 何为

作者单位: 集成光电子学国家重点实验室·清华大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国分子束外延学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 8-10

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）