巨磁电阻自旋阀(GMR-SV)传感器用CoCrTa永磁体膜(PM)的初步研究

摘要：

报道了巨磁电阻自旋阀传感器的CoCrTa永磁体(PM)膜制备工艺的初步研究结果,即基板负偏压、靶溅射功率密度、膜厚及溅射工作气体Ar分压等制备参数对Cr/CoCrTa膜矫顽力Hc的影响.

关键词： 永磁体膜 制备工艺 巨膜电阻自旋阀传感器 制备参数

作者: 宋庆山 方光旦 尹林 G.Pan

作者单位: 中国科学院计算技术研究所(北京) 中国科学院物理研究所(北京) University of Plymouth

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国磁性薄膜与纳米磁学学术会议

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 85-86

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）