纳米晶软磁薄膜及应用研究

摘要：

文章报道了纳米软磁薄膜材料的制备方法,给出了光源闪烁纳米晶化的最佳工艺参数,同时还分析了铁基和钴基薄膜纳米晶化后磁导率的频谱特性,发现其截止频率向高频端移动.

关键词： 纳米软磁薄膜 磁导率 频谱特性 磁控溅射法 制备工艺

作者: 张怀武 刘颖力 钟智勇 石玉

作者单位: 电子科技大学信材学院17系(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国磁性薄膜与纳米磁学学术会议

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 57-58

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）