不同厚度的La2/3Sr1/3MnO3多晶薄膜输运性质研究

摘要：

运用磁控溅射的方法,在表面氧化的Si(100)基片上制备了一系列不同厚度的La<,2/3>Sr<,1/3>MnO<,3>多晶薄膜.根据对输运的研究,发现存在一个厚度73nm,当t>73nm的时候,薄膜呈现出与块体类似的输运特点,而当t<73nm的时候,薄膜的电阻太大以至于薄膜的金属-绝缘体转变温度(T<,p>)变得不可测量.X射线衍射(XRD)结果显示:在t=73nm附近存在一个结构的转变.这表明La<,2/3>Sr<,1/3>MnO<,3>不同厚度多晶薄膜的输运性质的不同或许来自结构的转变.

关键词： 多晶薄膜 薄膜厚度 输运性质 磁控溅射法

作者: 蒋晓龙 徐庆宇 桑海 都有为

作者单位: 南京大学固体微结构物理实验室(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国磁性薄膜与纳米磁学学术会议

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 49-50

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）