衬底温度对纳米晶SnO2薄膜结晶特性的影响

摘要：

本文阐述了金属氧化物SnO<,2>纳米薄膜研究的发展情况及其应用前景,介绍了采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O<,2>,在衬底温度为150～400℃的耐热玻璃基片上制备纳米晶SnO<,2>:Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为”110”和”211”方向.测量了SnO<,2>:Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化及纳米晶SnO<,2>薄膜的FE-SEM表面及断面照片.

关键词： 磁控溅射 纳米晶 结晶特性 FE-SEM 二氧化锡薄膜

作者: 王占和 蒋耘晨 祝侃

作者单位: 北京理工大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 302-304

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）