光驻波场操纵锂原子进行纳米结构制作的研究

摘要：

纳米结构制作是发展纳米科学技术的基础,研究用光操纵原子进行纳米结构制作的新方法,是一个难度大、涉及面广的前沿探索课题.本文首先对光驻波场进行了简单介绍和分析,得到了一些对实验有意义的结论.然后介绍了光力的来源,对原子流与其垂直的光驻波场中的运动进行分析,针对不同的情况模拟原子在基底上的堆积图形.基于以上理论进行实验并取得初步实验结果.本文将锂原子操纵和纳米加工两个方面起来,在理论上和实际应用的可能性上都具有十分重要的意义.

关键词： 光驻波场 锂原子操纵 纳米结构制作 光刻工艺 光力原理

作者: 陈献忠 罗先刚 姚汉民 李展 张嵬 陈元培

作者单位: 中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 298-301

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）