AlAs氧化层的Raman研究

摘要：

为了理解AlAs氧化层热稳定性、重复性差的机制,找到合适的氧化方法来得到高质量的AlAs层,本文对不氧化、刚氧化完和延长时间氧化的样品进行了Raman分析,通过实验发现适当延长氧化时间,可有助于As、As<,2>O<,3>等可挥发性氧化物残余物逸出得到了热稳定性的AlAs氧化膜.

关键词： AlAs氧化层 热稳定性 氧化方法 氧化时间

作者: 王文冲 贾海强 陈弘

作者单位: 凝聚态物理中心,中国科学院物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国分子束外延学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 45-46

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）