具有亚微米有序微裂纹结构的钛酸锶基片的制备
本文采用脉冲激光沉积的方法,在钛酸锶(SrTiO<,3>)基片上制备了具有有序微裂纹结构的镧钙锰氧(La<,0.5>Ca<,0.5>MnO<,3>)薄膜.然后采用离子刻蚀的方法将镧钙锰氧薄膜剥离,则钛酸锶基片上留下了相应的有序微裂纹结构.微裂纹的密度可以在10<,3>～10<,4>mm<,-2>的范围内实现可控,其宽度小于100nm.经过离子刻蚀的钛酸锶基片仍保持良好的表面状况和晶体结构,可再次使用,从而在钛酸锶基片上实现了亚微米有序结构的制备.这一技术在器件制备与物理研究上有着重要的用途.
超导薄膜 脉冲激光沉积 离子刻蚀 亚微米结构 钛酸锶单晶基片 光刻技术
龚伟志 蔡纯 林媛 罗鹏顺 许波 陶宏杰 赵柏儒
中国科学院物理研究所(北京)
国内会议
贵阳
中文
53-56
2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）