YBCO超导薄膜的氟化研究

摘要：

本文采用CF<,4>气体,对YBCO超导薄膜在真空室里进行射频等离子体氟化,XPS的结果表明氟化改变了YBCO薄膜的表面价态,并通过不同的条件下YBCO的氟化得到了氟化深度与氟化条件的关系,对氟化后薄膜输运性质进行了研究,结果表明充分的氟化可以使YBCO超导电性完全消失,且此弱化过程不可逆.本文的研究为等离子体氟化YBCO薄膜形成弱连接结提供了实验依据.

关键词： 超导薄膜 射频等离子体氟化 薄膜输运性能 氟化深度

作者: 李琴 傅泽禄 吉争鸣 康琳 冯一军 杨森祖

作者单位: 南京大学电子科学与工程系(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国超导电子器件学术会议

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 24-27

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）