数字全息形貌测量的基本特性分析

摘要：

本文从理论上详细地分析了数字全息用于微观形貌测量的一些基本性质,具体包括被测量物体的尺寸限制、测量的系统误差特性分析和测量的横向和轴向精度.

关键词： 形貌测量 数字全息 误差分析 测量精度 光学形貌测量

作者: 刘诚 朱健强

作者单位: 高功率激光物理国家实验室,中科院上海光机所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 407-410

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）