光学元件高精度波前检测分析

摘要：

高功率固体激光装置对大口径光学元件波前质量的要求有别于传统光学系统,要求对波前误差进行较高空间频率的测量.本文探讨了大口径光学元件波前的高空间分辨率检测技术,采用大口径相移干涉仪作为波前检测仪器,通过对付立叶变换获得波前一维PSD分布,采用位相比较的方法校准了检测系统的空间频率传递函数.并就高空分辨率波前检测技术实现的关键技术环节进行了分析.

关键词： 光学元件评价 光学检测 波前功率谱密度 高功率激光装置 惯性约束聚变

作者: 许乔

作者单位: 成都精密光学工程研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 350-353

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）