软X射线Mo/Si多层膜的时效实验研究

摘要：

本文通过对久置的Mo/Si多层膜的低角X射线衍射特性以及其光学特性进行了前后实验测量,并对测量结果进行了分析,表明Mo和Si是制备软X射线多层膜的一对比较好的材料.

关键词： 软X射线 Mo/Si多层膜 时效实验 衍射特性 光学特性

作者: 易葵 邵建达 冯仕猛 祝国龙 范正修

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 59-62

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）