利用扫描电镜分析、解决GaAsMMIC制作中的工艺问题

摘要：

本文介绍了利用扫描电镜制作低噪声放大器的工艺过程.

关键词： 低噪声放大器 制作工艺 扫描电镜

作者: 王民娟 张浩 周瑞 冯震 邵璀琦

作者单位: 信息产业部第十三研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 406-407

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）