用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

摘要：

本文介绍了用改装的SEM观测到表面绝缘层下面的半导体材料缺陷的微结构这些图像的内容为研制和生产集成电路及研究半导体提供了重要的信息.

关键词： 集成电路 半导体材料 材料缺陷 显微结构 扫描电镜

作者: 梁竹关 肖玲 王建 周开邻 胡问国 李亚文 李萍 徐晓华 PayЭ.И

作者单位: 云南大学物理系(昆明) 昆明物理研究所(昆明) 俄罗斯

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 404-405

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）