SEM二次电子成像在半导体陶瓷电容器研制中的应用

摘要：

半导体陶瓷电容器的瓷坯为小圆片,半导体部分与氧化介质层部分虽然材料是一致的,但由于晶格结构缺陷而使半导体和氧化介质层SEM二次电子成像中表现出明显的不同衬度通过衬度对比,可测出氧化介质层厚度,通过观察判断氧化程度及其一致性,为产品开发和生产提供有用的依据.

关键词： 扫描电镜 二次成像 半导体陶瓷电容器 氧化层厚度

作者: 章仲涛 李静 王振平 章士瀛

作者单位: 东莞宏明南方电子陶瓷有限公司(东莞)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 402-403

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）