新型扫描电镜最佳工作参数的模拟

摘要：

本文介绍了一种新型的分析扫描电镜,为了从理论上指导实验调试,采用蒙特卡罗方法模拟不同初始条件下的入射电子在靶中的运动轨迹出射角度及出射能量等,从而获得这种电镜最优化工作参数组合及相应的性能.

关键词： 扫描电镜 工作参数 实验调试

作者: 蒋昌忠

作者单位: 武汉大学物理科学与技术学院(武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 394-395

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）