分子动力学模拟液态硅的扩散性质

摘要：

运用分子动力学方法模拟液态硅的扩散性质,结果表明:液态硅中密度的变化并未引起液态硅扩散常数明显规律变化;液态硅扩散常数随温度的变化则可以用Arrhenius经验式较好地拟合,由此得到的扩散指数前因子为30.8×10<’-3>cm<’2>·s<’-1>,激活能为0.92eV,二者的数值与其它方法的结果相比均偏大,表明由Tersoff势得到的原子间相互作用大于真实系统中硅原子间的相互作用.

关键词： 分子动力学模拟 液态硅 扩散

作者: 刘长松 朱震刚

作者单位: 中国科学院固体物理研究所内耗与固体缺陷开放研究实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第六届固体内耗与超声衰减学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 279-280

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）