环境扫描电子显微镜中的电子传输

摘要：

环境扫描电镜现在成为在气体环境中检测样品表面的一种有力手段,由于ESEM的加连电压相对较低,而电子要从高真空区域,经过压差光阑和低真空区域,才能达到样品表面.本文分析了在设计中电子传输的良好条件.

关键词： 环境扫描电镜 电子传输 气体环境检测

作者: 李春艳 杜海燕 董向红 王惠 姚琲

作者单位: 天津大学分析中心,天津大学测试计量技术与仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 287-288

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）