C波段T/R模块微波混合集成工艺制造

摘要：

固态相控阵雷达是世界军、民用雷达的发展方向,T/R模块是固态相控阵雷达的关键子系统,不仅包含了单片微波集成(MMIC)技术和微波混合集成(MHIC)技术,还涉及了材料科学、热设计技术、电磁兼容和环境可靠性技术等,是基础科学综合性很强的微电子尖端技术.论述了C波段T/R模块微波混合集成工艺过程和关键工艺攻关.

关键词： T/R模块 微波混合集成 工艺制造

作者: 钟文腾 张家琴 吴运霞 何长奉

作者单位: 航天科工集团二院二十三所事业部

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会现代设计与先进制造技术学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 184-185

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）