M24100-1/UM电子束曝光机激光工作台控制技术

摘要：

本文介绍了M24100-1/UM电子束曝光机中的激光工件台控制系统的工作原理、硬件结构、软件功能、以及使用情况,重点介绍其控制技术.

关键词： 电子束曝光 工件台控制 微细加工 控制系统

作者: 郭忠君

作者单位: 信息产业部电子第四十八研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 39-40，38

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）