改进矢量扫描型电子束曝光机图形边沿质量的一种方法

摘要：

通过改进电子束曝光机图形控制器的硬件设计,使矢量扫描方式工作时S形扫描的图形各边的质量一致.

关键词： 电子束曝光机 图形控制器 图形质量 矢量扫描方式

作者: 张玉林 魏强 李文萍

作者单位: 山东大学控制科学与工程学院(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 32-33

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）