缩小投影电子束曝光原理论证机工件台

摘要：

简要介绍在将一台透射电镜改建为缩小投影电子束曝光原理论证机时的工件台方案选择.

关键词： 缩小投影电子束曝光 工件台 掩模 方案比较

作者: 彭开武 武丰煜

作者单位: 中国科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 29-31

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）