利用场发射扫描电镜的低电压高性能进行材料表征

摘要：

场发射扫描电子显微镜(FESEM)是一种高分辨扫描电镜,在材料分析中得到广泛应用.尤其是良好的低压高空间分辨性能和低压下良好的SE像相互结合使用,使SEM应用范围得到扩展.

关键词： 场发射扫描电镜 分辨性能

作者: 闫允杰 唐国翌

作者单位: 清华大学材料科学与工程研究院电子显微镜实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 275-278

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）