低能电子显微方法的新进展

摘要：

本文综述入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应.在大能隙半导体或绝缘体中,低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属,从而为纳米材料的表征提供了条件.综述了低能电子显微术(LEEM)、低能电子投影显微术、弹道电子发射显微术(BEEM)光发射电子显微术(PEEM)等低能电子显微方法,介绍了这些方法得到的许多结果.

关键词： 低能电子 显微方法 弹性散射 非弹性散射 二次电子 能量阈值效应 低电子显微术

作者: 孙霞 丁泽军 吴自勤

作者单位: 中国科学技术大学天文与应用物理系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 251-257

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）